Cloche à quartz de qualité semi-conducteur

Le pot de cloche de quartz semi-conducteur est en matériau de quartz de haute pureté. Il a une excellente stabilité thermique et une forte résistance à la corrosion, et est utilisé dans de nombreux domaines. Dans l'industrie des semi-conducteurs: le pot de cloche de quartz semi-conducteur fournit un environnement contrôlé pour le dépôt de couches minces sur les plaquettes pendant le dépôt chimique de vapeur (CVD). Le pot de cloche de quartz semi-conducteur est également utilisé dans des processus qui nécessitent une technologie sous vide, tels que la production de revêtements optiques, de revêtements métalliques et d'autres types de matériaux en film mince. Un pot de cloche de quartz de qualité semi-conducteur est également nécessaire dans de nombreuses expériences de science physique et matérielle qui nécessitent un environnement de haute pureté et scellé sous vide.

Scénarios d'utilisation de l'industrie des semi-conducteurs:

Le polysilicon est un matériau de silicium composé de nombreux petits grains, qui est largement utilisé dans les circuits intégrés, les cellules solaires et autres champs. Le dépôt de vapeur chimique (CVD) est l'une des principales méthodes pour préparer le silicium polycristallin. Le principe de base est que le gaz source de silicium, tel que SIH4, est décomposé à haute température et déposé sur le substrat pour former du silicium polycristallin:

Sihcl3 + h2 ⇒ si + 3hcl

Dans des conditions de température et de vide élevées, le gaz source de silicium a été introduit dans le dépôt chimique en phase vapeur. Le silicium polycristallin est finalement obtenu. La cloche à quartz de qualité semi-conducteur est une partie importante du réacteur CVD en silicium polycristallin.

Réacteur CVD en silicium polycristallin

Sous la réaction à haute température du CVD, le pot à cloche en quartz de qualité semi-conducteur peut fournir un environnement thermique uniforme. La résistance à haute température du matériau Quartz de haute pureté (peut résister à des températures allant jusqu'à environ 1 100 °C) lui permet de fonctionner de manière stable dans les réactions CVD et d'assurer une répartition uniforme de la température dans la zone de réaction. Dans le processus CVD, il existe de nombreux composants gazeux toxiques, tels que le PH3, etc. La cloche en quartz de qualité semi-conducteur peut isoler efficacement les gaz chimiques dans la chambre de réaction de l'environnement externe pour éviter les fuites de gaz nocifs. La résistance à la corrosion du matériau Quartz de haute pureté permet également à d'autres matériaux de fonctionner de manière stable pendant une longue période pendant le processus CVD et n'est pas facilement corrodé ou endommagé.

La cloche en quartz est utilisée conjointement avec le tube de conservation de la chaleur en quartz et le bateau vertical en quartz, et est principalement utilisée dans le processus épitaxial de production de puces de circuits intégrés à semi-conducteurs. Le four épitaxial adopte généralement une structure verticale, avec la cloche de quartz à l'extérieur du bateau de quartz vertical et le tube de conservation de la chaleur en quartz comme support.

Une autre application typique du pot de cloche de quartz semi-conducteur dans un environnement à haute température: pour chauffer un lot de pièces orthodontiques à 704 ℃ en 1 seconde dans une atmosphère inerte pour le brasage ：

VeTek Semiconductor dispose d'une équipe technique mature. Quelle que soit la forme ou le matériau du pot à cloche en quartz de haute pureté dont vous avez besoin, nous pouvons le personnaliser pour vous.

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