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Le carbure de tantalum poreux de Vetek Semiconductor, en tant que nouvelle génération de matériau de croissance en cristal SIC, a de nombreuses excellentes propriétés de produit et joue un rôle clé dans une variété de technologies de traitement des semi-conducteurs.

Le principe de travail de la fournaise épitaxiale est de déposer des matériaux semi-conducteurs sur un substrat à haute température et à haute pression. La croissance épitaxiale du silicium consiste à développer une couche de cristal avec la même orientation cristalline que le substrat et une épaisseur différente sur un substrat monocristallin en silicium avec une certaine orientation cristalline. Cet article introduit principalement les méthodes de croissance épitaxiale du silicium: épitaxy en phase de vapeur et épitaxy en phase liquide.

Le dépôt chimique de vapeur (CVD) dans la fabrication de semi-conducteurs est utilisé pour déposer des matériaux en petits films dans la chambre, y compris SiO2, SIN, etc., et les types couramment utilisés incluent PECVD et LPCVD. En ajustant la température, la pression et le type de gaz de réaction, la MCV atteint une pureté, une uniformité élevée et une bonne couverture cinématographique pour répondre à différentes exigences de processus.

Cet article décrit principalement les grandes perspectives d'application de la céramique en carbure de silicium. Il se concentre également sur l'analyse des causes des fissures de frittage dans la céramique en carbure de silicium et les solutions correspondantes.