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Dans la croissance de monocristaux de SiC et d'AlN à l'aide de la méthode de transport physique de vapeur (PVT), des composants cruciaux tels que le creuset, le porte-graines et l'anneau de guidage jouent un rôle essentiel. Comme le montre la figure 2 [1], au cours du processus PVT, le germe cristallin est positionné dans la région de température la plus basse, tandis que la matière première SiC est exposée à des températures plus élevées (au-dessus de 2 400 ℃).

Les substrats en carbure de silicium ont de nombreux défauts et ne peuvent pas être traités directement. Un film mince monocusstal spécifique doit être cultivé sur eux à travers un processus épitaxial pour faire des plaquettes de puce. Ce film mince est la couche épitaxiale. Presque tous les dispositifs en carbure de silicium sont réalisés sur des matériaux épitaxiaux. Les matériaux épitaxiaux homogènes en carbure de silicium de haute qualité sont à la base du développement de dispositifs en carbure de silicium. Les performances des matériaux épitaxiales déterminent directement la réalisation des performances des dispositifs en carbure de silicium.

Le carbure de silicium remodèle l'industrie des semi-conducteurs pour la puissance et les applications à haute température, avec ses propriétés complètes, des substrats épitaxiaux aux revêtements protecteurs en passant par les véhicules électriques et les systèmes d'énergie renouvelable.

Haute pureté : la couche épitaxiale de silicium développée par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) présente une pureté extrêmement élevée, une meilleure planéité de surface et une densité de défauts inférieure à celle des plaquettes traditionnelles.

Le carbure de silicium solide (sic) est devenu l'un des matériaux clés de la fabrication de semi-conducteurs en raison de ses propriétés physiques uniques. Ce qui suit est une analyse de ses avantages et de sa valeur pratique en fonction de ses propriétés physiques et de ses applications spécifiques dans l'équipement de semi-conducteur (tels que les porteurs de plaquettes, les pommes de douche, les anneaux de mise au point de gravure, etc.).