Crucible en quartz de haute pureté

Le creuset en quartz de haute pureté fourni par la plate-forme VeteKemicon est en quartz fusionné synthétique ultra-élevé. La teneur en SiO2 dans les matières premières de quartz sélectionnées peut généralement atteindre 99,998% ou même plus (4N8). Grâce à des processus avancés de fusion et de moulage, la teneur en impureté est minimisée, en particulier les ions métalliques (tels que Na, K, Li, Fe, AL, CA, etc.) et la teneur en hydroxyle qui sont nocives pour les processus semi-conducteurs.

Ce creuset en quartz est conçu pour le fonctionnement dans des environnements à haute température afin d'assurer une faible contamination, une forte résistance et une bonne compatibilité avec la croissance des cristaux et le traitement des plaquettes.

Ⅰ. Principales applications dans les processus de fabrication de semi-conducteurs

Les creusets en quartz de haute pureté jouent un rôle essentiel dans de nombreux processus de fabrication de semi-conducteurs clés avec leurs propriétés physiques uniques:

1. Croissance en silicium monocristal (Process Czochralski - CZ)

Utiliser: Dans le processus de croissance en silicium monocristallisé par la méthode Czochralski, les creusets en quartz de haute pureté sont les principaux conteneurs du silicium fondu. La qualité et la pureté des tiges de silicium sont directement affectées par le matériau du creuset.

Excellentes propriétés physiques:

● Pureur ultra-élevée: fabriquée en matière de quartz de haute pureté, il assure des précipitations à impureté extrêmement faibles et évite la contamination du silicium monocristallé, ce qui est crucial pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs hautement intégrés et hautement performants. Les impuretés telles que les métaux alcalins et les métaux lourds peuvent devenir des pièges porteurs ou des centres de diffusion, affectant sérieusement les propriétés électriques de l'appareil.

● Excellente résistance à haute température: le matériau de quartz a un point de fusion élevé (environ 1700 ∘c), peut résister à la température extrêmement élevée du silicium fondu (environ 1420 ∘c) et fonctionner de manière stable pendant une longue période sans déformation ni ramollissement.

● Bonne stabilité thermique: à des températures élevées, le coefficient de dilatation thermique est extrêmement faible, ce qui peut résister efficacement à la contrainte thermique et éviter la fissuration pendant le chauffage et le refroidissement, assurant ainsi la stabilité et la sécurité du processus.

● Inerness chimique: il a une bonne inertie chimique au silicium fondu, n'est pas facile à réagir avec le silicium, réduit l'introduction des impuretés et la carbonisation du silicium et assure la pureté des cristaux de silicium.

2. Casting de lingot en silicium polycristallin

Application: Dans le processus de coulée de lingot polycristallin de silicium, des creusets en quartz de haute pureté sont utilisés comme conteneurs pour le silicium polycristallin en fusion pour lancer des lingots de silicium polycristallin en silicium photovoltaïque ou électronique.

Excellentes propriétés physiques:

● Résistance aux chocs thermiques: il peut maintenir l'intégrité structurelle même dans les cycles de chauffage et de refroidissement rapides pour éviter les fissures causées par des changements de température soudains.

● Stabilité dimensionnelle: le contrôle dimensionnel précis et la stabilité de la forme sont essentiels pour couler les lingots de silicium polycristallin qui répondent aux exigences de spécification.

3. Autres applications à haute température

Usages: Dans la fabrication de semi-conducteurs, de nombreux processus de tube de four à température à haute température, tels que la diffusion, l'oxydation, le recuit, etc., utilisent souvent des conteneurs de quartz comme doublures ou transporteurs pour garder l'environnement de processus propre et stable.

Ⅱ. Avantages du creuset de quartz de haute pureté de Veteksemicon

VetekSemicon s'engage à fournir des produits de haute qualité et haute performance pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos creusets en quartz de haute pureté présentent les avantages suivants:

● Garantie de pureté ultra-élevée: Contrôle strict des matières premières et des processus de production pour garantir que le produit atteint une pureté ultra-élevée de qualité semi-conducteur et minimiser le risque de contamination des processus.

● Excellente durabilité: Excellente stabilité thermique et résistance mécanique, prolongeant la durée de vie du produit et réduction des coûts de production.

● Service personnalisé: Des solutions de creuset personnalisées de différentes tailles, formes et spécifications peuvent être fournies en fonction de vos besoins de processus spécifiques.

Entrepôt de produits Veteksemicon