Mandrin électrostatique en céramique de nitrure d'aluminium (AlN)

1.Avantages

• Céramique AlN de haute pureté avec une conductivité thermique jusqu'à ~180 W/m·K pour un transfert de chaleur efficace et une uniformité de température

• Forte isolation électrique et résistivité volumique élevée permettant un serrage stable entre 1 et 3 kV (tensions plus élevées disponibles)

• Matériaux de couche diélectrique personnalisés et dispositions d'électrodes : Coulomb ou Johnsen-Rahbek (JR) ; mono ou multizone

• Performances de serrage et de déverrouillage rapides, généralement inférieures à 0,1 seconde

• Microstructures à fossettes de surface jusqu'à environ 300 μm de diamètre, réduisant la zone de contact à environ 1 %

• Capacité de planéité élevée ; planéité globale typique de l'ordre de 0,5 à 3 μm PV pour les plates-formes de classe 300 mm

• Microstructure dense avec une absorption d'eau proche de zéro et une bonne résistance chimique pour les environnements de traitement

2.Applications typiques

Les mandrins électrostatiques en céramique de nitrure d'aluminium sont utilisés dans les étapes de processus qui nécessitent à la fois un maintien sécurisé des plaquettes et un comportement thermique contrôlé :

• Gravure au plasma sec (ICP/RIE) et procédés en chambre associés

• CVD, PEALD, ALD thermique et autres étapes de dépôt de couches minces

• Modules de recuit et de processus thermique nécessitant une température de plaquette uniforme

• Étapes d'inspection, de métrologie et de précision où un faible taux de particules et un serrage stable sont essentiels

3.Nuances de matériaux AlN – Propriétés typiques

VeTek propose plusieurs qualités de nitrure d'aluminium pour équilibrer la conductivité thermique, la résistance mécanique et le coût des conceptions ESC :

Unités : Conductivité thermique en W/(m·K) ; rigidité diélectrique en kV/mm ; résistivité volumique en Ω·cm (25 °C) ; constante diélectrique à 1 MHz. Les valeurs sont typiques et peuvent varier en fonction du processus et de la géométrie de la pièce.

4.Paramètres de conception ESC typiques

5.Pourquoi choisirAvez-vous des mandrins électrostatiques VeTek AlN ?

VeTek Semiconductor intègre des céramiques AlN avancées avec une fabrication ESC de précision pour les clients de semi-conducteurs qui ont besoin à la fois de performances thermiques et d'un serrage fiable :

• Plusieurs qualités d'AlN avec une conductivité thermique de ~90 à ~180 W/m·K pour correspondre aux budgets thermiques des processus

• Conception flexible d'électrode et de diélectrique pour un comportement de serrage Coulomb ou JR

• Contrôle strict de la planéité, de la microstructure de surface et des performances d'isolation électrique

• Prise en charge complète du cycle de vie : conception, nouvelle construction et rénovation à plusieurs niveaux

Pour les outils de gravure, de dépôt et thermiques qui dépendent d'une température de plaquette uniforme et d'un serrage propre et reproductible, les mandrins électrostatiques en céramique de nitrure d'aluminium VeTek fournissent une plate-forme céramique hautes performances soutenue par un support technique axé sur les applications.