Récepteur Aixtron MOCVD

Les Suscepteurs produits parVetek Semi-conducteursont en substrat de graphite et en carbure de silicium (SIC). Compte tenu de la résistance à l'usure plus élevée, de la résistance à la corrosion et de la dureté extrêmement élevée du matériau SIC, il est particulièrement adapté à une utilisation dans des environnements de processus sévères. Par conséquent, les suscepteurs produits par le semi-conducteur de Vetek peuvent être directement utilisés dans les processus MOCVD à haute température sans traitement de surface supplémentaire.

Les suscepteurs sont des composants clés de la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans l'équipement MOCVD pour les processus de dépôt en couches minces. Le rôle principal deRécepteur Aixtron SiCDans le processus MOCVD, il s'agit de transporter des plaquettes de semi-conducteur, d'assurer un dépôt uniforme et de haute qualité de couches minces en fournissant une distribution de chaleur uniforme et un environnement de réaction, atteignant ainsi une production de couches minces de haute qualité.

AIXTRON MOCVD Supportorest généralement utilisé pour soutenir et fixer la base des tranches semi-conductrices afin d'assurer la stabilité de la tranche pendant le processus de dépôt. Dans le même temps, le revêtement de surface de l'Aixtron MOCVD Susceptor est en carbure de silicium (SiC), un matériau hautement conducteur thermique. Le revêtement SiC garantit une température uniforme à la surface de la plaquette et un chauffage uniforme est essentiel pour obtenir des films de haute qualité.

De plus, leAIXTRON MOCVD SupportorNous produisons joue un rôle plus important dans le contrôle de l'écoulement et de la distribution des gaz réactifs grâce à la conception optimisée des matériaux. Évitez les courants de Foucault et les gradients de température pour obtenir un dépôt de film uniforme.

Plus important encore, dans le processus MOCVD, le matériau de revêtement en carbure de silicium (SiC) présente une résistance à la corrosion, doncVetek Semi-conducteur'sAIXTRON MOCVD Supportorpeut également résister à des températures élevées et à des gaz corrosifs.

Propriétés physiques de base deREVÊTEMENT SIC:

VeTek Semiconductor Wafer Magasins de bateaux:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: