Salle de bain en quartz semi-conducteur

Le bain de quartz de Vetek Semiconductor est conçu pour le nettoyage et le traitement des tranches de silicium et est largement utilisé dans les semi-conducteurs, photovoltaïques et autres champs. Le bain de quartz pour le semi-conducteur est fait de matériau de quartz à haute pureté, a une excellente résistance à haute température et une stabilité chimique, et peut fonctionner de manière stable dans des environnements à haute température et à corrosion élevée. Qu'il s'agisse de nettoyer de grandes tranches de diamètre de 300 mm ou d'exigences personnalisées d'autres spécifications, le bain de quartz semi-conducteur peut fournir des solutions efficaces et fiables pour autonomiser votre ligne de production.

Salle de bain en quartz semi-conducteur Caractéristiques du produit

1. Conception de grande capacité pour répondre aux besoins de nettoyage par lots

● Accueillir 50 plaquettes: La conception standard du bain de quartz semi-conducteur soutient le nettoyage de jusqu'à 50 plaquettes en même temps, améliorant considérablement l'efficacité de nettoyage.

● Compatible avec plusieurs tailles: prend en charge les plaquettes à régler avec un diamètre maximum de 300 mm et peut également être personnalisée en fonction des besoins. D'autres tailles, telles que 150 mm ou 200 mm, peuvent répondre aux besoins de différents flux de processus.

● Design modulaire: adapté au siliciumplaquettesde différentes spécifications, prend en charge la commutation rapide et répond de manière flexible à diverses tâches de nettoyage.

2. Matériel de quartz de haute pureté, excellente garantie de performance

● Résistance à haute température: le matériau de quartz peut résister à la plage de température de 0 ° C à 1200 ° C, adaptée à une variété de processus de nettoyage thermique et de traitement thermique.

● Résistance à la corrosion:Réservoir de quartzPeut résister à la corrosion des acides forts (tels que HF, HCl) et des alcalis puissants pendant longtemps, et est particulièrement adapté au traitement de circulation des solutions de gravure chimique ou des solutions de nettoyage.

● Haute propreté: la surface de la paroi intérieure du réservoir de quartz semi-conducteur est lisse et n'a pas de pores, et n'adsorbera pas les particules ou les résidus chimiques, évitant efficacement la contamination des puces.

3. Personnalisation flexible pour répondre aux différentes exigences de processus

● Personnalisation de la taille: ajustez la taille, la profondeur et la capacité du bain en fonction des besoins des utilisateurs pour répondre aux besoins de nettoyage des spécifications spéciales des puces.

● Prise en charge de l'intégration automatisée: compatible avec l'équipement d'automatisation industrielle pour obtenir un fonctionnement entièrement automatisé du nettoyage des puces.

4. processus de haute précision pour assurer la qualité du produit

● Soudage et traitement précis: utilisez une technologie de traitement avancée pour assurer la stabilité et l'étanchéité de l'équipement dans des environnements à haute température et à haute pression.

● Conception durable: après plusieurs tests de durabilité, assurez-vous que l'équipement fonctionne comme auparavant sous une utilisation à long terme à haute fréquence.

● Fiabilité élevée: évitez les rayures, la rupture ou la contamination croisée des plaquettes pendant le nettoyage et améliorez le taux de rendement.

Paramètres techniques de bain à quartz semi-conducteur

Scénarios applicables de bain de quartz pour semi-conducteur

1 et 1 Industrie des semi-conducteurs

● Nettoyage de la plaquette de silicium: utilisé pour éliminer les particules, les couches d'oxyde et les résidus organiques à la surface de la tranche.

● Traitement de gravure du liquide: coopérer avec le processus de gravure chimique pour éliminer avec précision les matériaux dans des zones spécifiques.

2. Industrie photovoltaïque

● Nettoyage des cellules solaires: retirer les polluants générés pendant le processus de production et améliorer l'efficacité de conversion de la cellule.

3 et 3 Expériences de recherche scientifique

● Science des matériaux: adapté au nettoyage des échantillons expérimentaux de haute pureté.

● Traitement des micro-nano: prend en charge une variété d'équipements expérimentaux et de flux de processus.

It semi-conducteur magasins de production de bain en quartz