Cet article présente les caractéristiques des produits du revêtement TAC, le processus spécifique de préparation des produits de revêtement TAC à l'aide de la technologie CVD, introduit le revêtement TAC le plus populaire de VetekSEMICON, et analyse brièvement les raisons du choix de VeteKseMicon.
Cet article analyse les raisons pour lesquelles le revêtement SIC un matériau de base clé pour la croissance épitaxiale du SIC et se concentre sur les avantages spécifiques du revêtement SIC dans l'industrie des semi-conducteurs.
Les nanomatériaux en carbure de silicium (SIC) sont des matériaux avec au moins une dimension à l'échelle nanométrique (1-100 nm). Ces matériaux peuvent être zéro, un, deux ou trois dimensions et avoir des applications diverses.
CVD SIC est un matériau en carbure de silicium de haute pureté fabriqué par le dépôt de vapeur chimique. Il est principalement utilisé pour divers composants et revêtements dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs. Le contenu suivant est une introduction à la classification des produits et aux fonctions de base du CVD SIC
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