Grâce à des progrès technologiques continus et à une recherche approfondie sur les mécanismes, la technologie hétéroépitaxiale 3C-SiC devrait jouer un rôle plus important dans l'industrie des semi-conducteurs et promouvoir le développement de dispositifs électroniques à haut rendement.
ALD spatial, dépôt de couche atomique isolé spatialement. La tranche se déplace entre différentes positions et est exposée à différents précurseurs à chaque position. La figure ci-dessous est une comparaison entre l'ALD traditionnel et l'ALD isolé spatialement.
Récemment, le Fraunhofer IISB allemand de recherche a fait une percée dans la recherche et le développement de la technologie de revêtement de carbure de tantale, et a développé une solution de revêtement par pulvérisation plus flexible et respectueuse de l'environnement que la solution de dépôt CVD et a été commercialisée.
À une époque de développement technologique rapide, l’impression 3D, en tant que représentant important de la technologie de fabrication avancée, change progressivement le visage de la fabrication traditionnelle. Grâce à la maturité technologique continue et à la réduction des coûts, la technologie d'impression 3D a montré de larges perspectives d'application dans de nombreux domaines tels que l'aérospatiale, la construction automobile, les équipements médicaux et la conception architecturale, et a favorisé l'innovation et le développement de ces industries.
Les matériaux monocristaux ne peuvent pas répondre aux besoins de la production croissante de divers dispositifs semi-conducteurs. À la fin de 1959, une mince couche de technologie de croissance des matériaux monocristallines - une croissance épitaxiale a été développée.
Le carbure de silicium est l'un des matériaux idéaux pour fabriquer des dispositifs à haute température, haute fréquence, haute puissance et haute tension. Afin d'améliorer l'efficacité de la production et de réduire les coûts, la préparation de substrats en carbure de silicium de grande taille est une direction de développement importante.
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