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Cet article introduit principalement les types de produits, les caractéristiques des produits et les principales fonctions du MOCVD Suscepteur dans le traitement des semi-conducteurs, et effectue une analyse complète et une interprétation des produits MOCVD Sous-Sousger dans son ensemble.

Un suscepteur en graphite revêtu de SiC pour l'ASM n'est pas seulement une pièce de rechange à l'intérieur d'un système d'épitaxie. Il s'agit d'un support essentiel au processus qui influence l'uniformité thermique, la propreté des plaquettes, la durabilité du revêtement, la stabilité de la chambre et le coût de production à long terme.

Un couvercle de revêtement CVD TaC n'est pas seulement un couvercle de protection ou un composant en graphite revêtu. Dans les processus de semi-conducteurs à haute température, cela peut influencer la propreté de la chambre, la stabilité thermique, la durée de vie des pièces et la cohérence du processus.

Dans la production PECVD, de nombreux problèmes de revêtement et de dépôt ne commencent pas par la puissance du plasma ou la chimie des gaz. Ils commencent par le support qui contient les plaquettes.

Choisir le bon creuset à quartz semi-conducteur n’est pas un détail d’achat mineur. Cela affecte directement la propreté de la fonte, la stabilité thermique, la consistance de l'extraction des cristaux, le contrôle du rendement et le rythme de service de l'ensemble de la ligne de croissance.

La poudre de graphite de haute pureté est devenue un matériau essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, la production photovoltaïque, les céramiques avancées et les processus industriels à haute température. Mais qu’est-ce qui définit exactement la poudre de graphite de haute pureté et pourquoi surpasse-t-elle les matériaux graphite standards dans les environnements exigeants ?