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Disque d'ensemble de revêtement SIC
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Disque d'ensemble de revêtement SIC

Vetek Semiconductor est le premier fabricant de revêtements CVD SIC en Chine, propose un disque d'ensemble de revêtement SIC dans les réacteurs AIXTRON MOCVD. Ces disques d'ensemble de revêtement SIC sont fabriqués à l'aide d'un graphite de haute pureté et comportent un revêtement CVD SIC avec une impureté inférieure à 5 ppm. Votre demande est la bienvenue.

Vetek Semiconductor est le revêtement de sic fabricant et fournisseur de Chine qui produit principalement un disque d'ensemble de sic, collectionneur, suscepteur avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous.



Le disque d'ensemble de revêtement AIXTRON SIC est un produit haute performance conçu pour une large gamme d'applications. Le kit est en matériau en graphite de haute qualité avec un protecteurrevêtement en carbure de silicium (sic)Le revêtement en carbure de silicium (sic) à la surface du disque aPlusieurs avantages importants:


Tout d'abord, il améliore considérablement la conductivité thermique du matériau du graphite, atteignant une conduction thermique efficace et un contrôle précis de la température. Cela garantit un chauffage ou un refroidissement uniforme de l'ensemble du disque pendant l'utilisation, ce qui entraîne des performances cohérentes.


Deuxièmement, le revêtement en carbure de silicium (SIC) a une excellente inertie chimique, ce qui rend le disque très résistant à la corrosion. Cette résistance à la corrosion assure la longévité et la fiabilité du disque, même dans des environnements durs et corrosifs, ce qui le rend adapté à une variété de scénarios d'application.


De plus, le revêtement en carbure de silicium (SIC) améliore la durabilité globale et la résistance à l'usure de l'ensemble de disques. Cette couche protectrice aide le disque à résister à une utilisation répétée, réduisant le risque de dommages ou de dégradation qui peuvent survenir au fil du temps. La durabilité améliorée garantit les performances et la fiabilité à long terme de l'ensemble de disques.


Les disques d'ensemble de revêtement AIXTRON SIC sont largement utilisés dans les laboratoires de fabrication, de traitement chimique et de recherche sur les semi-conducteurs. Son excellente conductivité thermique, sa résistance chimique et sa durabilité le rendent idéal pour des applications critiques nécessitant un contrôle précis de la température et des environnements résistants à la corrosion.


CVD SIC Film Crystal Structure:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité 3,21 g / cm³
Dureté 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de jeunes 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy


It semi-conducteurDisque d'ensemble de revêtement SICBoutique de production

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