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Haute pureté: la couche épitaxiale de silicium cultivée par le dépôt chimique de vapeur (CVD) a une pureté extrêmement élevée, une meilleure planéité de surface et une densité de défauts plus faible que les TAV traditionnels.

Le carbure de silicium solide (sic) est devenu l'un des matériaux clés de la fabrication de semi-conducteurs en raison de ses propriétés physiques uniques. Ce qui suit est une analyse de ses avantages et de sa valeur pratique en fonction de ses propriétés physiques et de ses applications spécifiques dans l'équipement de semi-conducteur (tels que les porteurs de plaquettes, les pommes de douche, les anneaux de mise au point de gravure, etc.).