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Diamond, un «semi-conducteur ultime» potentiel de quatrième génération, attire l'attention dans les substrats de semi-conducteurs en raison de sa dureté exceptionnelle, de la conductivité thermique et de ses propriétés électriques. Bien que ses défis à coût élevé et à production limitent son utilisation, la MCV est la méthode préférée. Malgré le dopage et les défis de cristal à grande surface, Diamond est prometteur.

SIC et GAn sont des semi-conducteurs de bande interdite larges avec des avantages par rapport au silicium, tels que des tensions de panne plus élevées, des vitesses de commutation plus rapides et une efficacité supérieure. Le SIC est meilleur pour les applications à haute tension et haute puissance en raison de sa conductivité thermique plus élevée, tandis que Gan excelle dans les applications à haute fréquence grâce à sa mobilité électronique supérieure.

L'évaporation par faisceau d'électrons est une méthode de revêtement très efficace et largement utilisée par rapport au chauffage par résistance, qui chauffe le matériau d'évaporation avec un faisceau d'électrons, le faisant se vaporiser et se condenser en un film mince.

Le revêtement sous vide comprend la vaporisation des matériaux cinématographiques, le transport sous vide et la croissance des couches minces. Selon les différentes méthodes de vaporisation du matériel de film et les processus de transport, le revêtement sous vide peut être divisé en deux catégories: PVD et CVD.