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La plaque en céramique sic poreuse est l'un des matériaux de base dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. Avec sa structure unique et ses excellentes propriétés physiques, le disque en céramique SIC poreux est devenu un composant clé irremplaçable dans des environnements à haute température et corrosifs. Dans cet article, nous analyserons profondément ses propriétés physiques, ses scénarios d'application et ses avantages de sélection.

Le bateau en quartz est un composant clé de charge utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour le traitement à haute température des plaquettes, comme la diffusion, l'oxydation et le recuit. Son excellente stabilité thermique, ses faibles caractéristiques de pollution et sa résistance à la corrosion en font un matériau indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet article expliquera le matériau, les propriétés physiques, la classification, les scénarios d'application du bateau en quartz et ses différences par rapport au bateau graphite PECVD.

Le matériau central du bateau en graphite PECVD est un matériau de graphite isotrope de haute pureté (la pureté est généralement ≥99,999%), qui a une excellente conductivité électrique, une conductivité thermique et une densité. Par rapport aux bateaux en graphite ordinaires, les bateaux en graphite PECVD présentent de nombreux avantages de propriété physique et chimique et sont principalement utilisés dans les industries semi-conductrices et photovoltaïques, en particulier dans les processus PECVD et CVD.

Les plateaux de graphite MOCVD jouent un rôle important dans le processus épitaxial. Cet article fait une analyse détaillée sur la sélection des plateaux de graphite MOCVD du point de vue des propriétés des matériaux et des scénarios d'application.