Actualités de l'industrie

Dans le monde en constante évolution des appareils électroménagers et de cuisine, un produit a récemment attiré une attention particulière pour son innovation et son application pratique : le seau thermos à quartz.

Les produits en quartz sont largement utilisés dans le processus de fabrication de semi-conducteurs en raison de leur haute pureté, de leur résistance à haute température et de leur forte stabilité chimique.

Les fours de croissance en carbure de carbure de silicium (SIC) jouent un rôle vital dans la production de plaquettes SIC à haute performance pour les dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération. Cependant, le processus de croissance des cristaux SIC de haute qualité présente des défis importants. De la gestion des gradients thermiques extrêmes à la réduction des défauts cristallins, en garantissant une croissance uniforme et en contrôlant les coûts de production, chaque étape nécessite des solutions d'ingénierie avancées. Cet article analysera les défis techniques des fours de croissance cristalline SIC sous plusieurs angles.

Smart Cut est un processus de fabrication avancé de semi-conducteurs basé sur l'implantation d'ions et le décapage de la plaquette, spécialement conçu pour la production de plaquettes 3C-SIC (en carbure de silicium cube) ultra-minces et très uniformes. Il peut transférer des matériaux cristallins ultra-minces d'un substrat à un autre, brisant ainsi les limitations physiques d'origine et modifiant l'ensemble de l'industrie du substrat.

Dans la préparation de substrats de carbure de silicium de haute qualité et à haut rendement, le noyau nécessite un contrôle précis de la température de production par de bons matériaux de champ thermique. Actuellement, les kits de creuset à champ thermique principalement utilisés sont des composants structurels de graphite de haute pureté, dont les fonctions sont de chauffer la poudre de carbone fondu et de la poudre de silicium ainsi que de maintenir la chaleur.

Lorsque vous voyez les semi-conducteurs de troisième génération, vous vous demanderez sûrement quelles étaient les première et deuxième générations. La "génération" ici est classifiée en fonction des matériaux utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs.

Le mandrin électrostatique (ESC), également connu sous le nom de Chuck électrostatique (ESC, E-Chuck), est un luminaire qui utilise le principe de l'adsorption électrostatique pour maintenir et fixer le matériau adsorbé. Il convient aux environnements sous vide et plasma.

Les transporteurs de plaquettes SIC, en tant que consommables clés de la chaîne de l'industrie des semi-conducteurs de troisième génération, leurs caractéristiques techniques affectent directement le rendement de la croissance épitaxiale et de la fabrication de dispositifs. Avec la demande croissante de dispositifs à haute tension et à haute température dans des industries telles que les stations de base 5G et les nouveaux véhicules énergétiques, la recherche et l'application de transporteurs de plaquettes SIC sont désormais confrontés à des opportunités de développement importantes.

La céramique en alumine est le «cheval de bataille» pour la fabrication de composants en céramique. Ils présentent d'excellentes propriétés mécaniques, des points de fusion ultra-élevés et de la dureté, une résistance à la corrosion, une forte stabilité chimique, une résistivité élevée et une isolation électrique supérieure. Ils sont couramment utilisés pour fabriquer des plaques de polissage, des mandrins sous vide, des bras en céramique et des pièces similaires.

Les matériaux semi-conducteurs peuvent être classés en trois générations dans l'ordre chronologique. La première génération se compose de matériaux élémentaires communs tels que le germanium et le silicium, qui se caractérisent par une commutation pratique et sont généralement utilisés dans les circuits intégrés. Les semi-conducteurs composés de deuxième génération tels que l'arséniure de gallium et le phosphure d'indium sont principalement utilisés dans les matériaux luminescents et de communication.

Les dispositifs de quartz jouent un rôle essentiel dans la fabrication des cellules solaires, offrant une résistance thermique exceptionnelle, une pureté chimique et une stabilité structurelle requise dans les processus à haute température. Des tubes de diffusion de quartz et des creusets aux bateaux de quartz et aux composants de la fournaise, ces matériaux de haute pureté sont essentiels pour atteindre une efficacité optimale de diffusion, de MCV et de pas de gravure humide.

Le revêtement TAC élimine presque complètement le phénomène d'encapsulation du carbone en isolant le contact direct entre le creuset en graphite et la fusion SIC, réduisant considérablement la densité des défauts des microtubes

La céramique SIC est un matériau en céramique produit par la réaction des éléments du silicium (Si) et du carbone (C), avec une dureté extrêmement élevée, une résistance à la chaleur et une stabilité chimique

Dans le monde à enjeux élevés de la fabrication des semi-conducteurs, la précision et la stabilité sont tout - et c'est là que le mandrin électrostatique (ESC) intervient. Bien plus qu'un simple outil de maintien, l'ESC utilise les forces électrostatiques pour serrer des plaquettes en toute sécurité pendant les processus critiques comme la gravure, le dépôt et l'implantation d'ions. Mais comment ça marche réellement? Pourquoi est-il supérieur au serrage mécanique traditionnel? Et quel rôle joue-t-il dans la réalisation de la précision à l'échelle nanométrique et de l'efficacité du débit? Bienvenue à lire.

Le principe de decup du mandrin électrostatique est un élément clé de son flux de travail qui implique l'élimination de la force électrostatique et les mécanismes de libération de la plaquette.

Le carbone vitreux est un carbone non graphié qui combine les propriétés du verre et de la céramique. Il possède de nombreuses propriétés telles que une résistance à la température élevée, une résistance à la corrosion, une bonne conductivité électrique, etc. Ce blog analyse l'histoire de la recherche et la tendance future de développement du carbone vitreux, qui mérite d'être lu.