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Le bateau en quartz est un composant clé de charge utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour le traitement à haute température des plaquettes, comme la diffusion, l'oxydation et le recuit. Son excellente stabilité thermique, ses faibles caractéristiques de pollution et sa résistance à la corrosion en font un matériau indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet article expliquera le matériau, les propriétés physiques, la classification, les scénarios d'application du bateau en quartz et ses différences par rapport au bateau graphite PECVD.

Le matériau central du bateau en graphite PECVD est un matériau de graphite isotrope de haute pureté (la pureté est généralement ≥99,999%), qui a une excellente conductivité électrique, une conductivité thermique et une densité. Par rapport aux bateaux en graphite ordinaires, les bateaux en graphite PECVD présentent de nombreux avantages de propriété physique et chimique et sont principalement utilisés dans les industries semi-conductrices et photovoltaïques, en particulier dans les processus PECVD et CVD.

Les plateaux de graphite MOCVD jouent un rôle important dans le processus épitaxial. Cet article fait une analyse détaillée sur la sélection des plateaux de graphite MOCVD du point de vue des propriétés des matériaux et des scénarios d'application.

Les matériaux en graphite ont une large gamme de scénarios d'application. Parmi eux, le graphite isotrope et le graphite siliconisé sont les deux principaux types différents de matériaux de graphite, et leurs caractéristiques, les scénarios d'application et les avantages sont considérablement différents. Ce blog effectuera une analyse comparative de trois aspects: caractéristiques structurelles, scénarios d'application et avantages du produit.