Les transporteurs de plaquettes SIC, en tant que consommables clés de la chaîne de l'industrie des semi-conducteurs de troisième génération, leurs caractéristiques techniques affectent directement le rendement de la croissance épitaxiale et de la fabrication de dispositifs. Avec la demande croissante de dispositifs à haute tension et à haute température dans des industries telles que les stations de base 5G et les nouveaux véhicules énergétiques, la recherche et l'application de transporteurs de plaquettes SIC sont désormais confrontés à des opportunités de développement importantes.
La céramique en alumine est le «cheval de bataille» pour la fabrication de composants en céramique. Ils présentent d'excellentes propriétés mécaniques, des points de fusion ultra-élevés et de la dureté, une résistance à la corrosion, une forte stabilité chimique, une résistivité élevée et une isolation électrique supérieure. Ils sont couramment utilisés pour fabriquer des plaques de polissage, des mandrins sous vide, des bras en céramique et des pièces similaires.
Les matériaux semi-conducteurs peuvent être classés en trois générations dans l'ordre chronologique. La première génération se compose de matériaux élémentaires communs tels que le germanium et le silicium, qui se caractérisent par une commutation pratique et sont généralement utilisés dans les circuits intégrés. Les semi-conducteurs composés de deuxième génération tels que l'arséniure de gallium et le phosphure d'indium sont principalement utilisés dans les matériaux luminescents et de communication.
Les dispositifs de quartz jouent un rôle essentiel dans la fabrication des cellules solaires, offrant une résistance thermique exceptionnelle, une pureté chimique et une stabilité structurelle requise dans les processus à haute température. Des tubes de diffusion de quartz et des creusets aux bateaux de quartz et aux composants de la fournaise, ces matériaux de haute pureté sont essentiels pour atteindre une efficacité optimale de diffusion, de MCV et de pas de gravure humide.
Le revêtement TAC élimine presque complètement le phénomène d'encapsulation du carbone en isolant le contact direct entre le creuset en graphite et la fusion SIC, réduisant considérablement la densité des défauts des microtubes
La céramique SIC est un matériau en céramique produit par la réaction des éléments du silicium (Si) et du carbone (C), avec une dureté extrêmement élevée, une résistance à la chaleur et une stabilité chimique
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