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À mesure que le procédé au carbure de silicium (SiC) de 8 pouces évolue, les fabricants accélèrent le passage du 6 pouces au 8 pouces. Récemment, ON Semiconductor et Resonac ont annoncé des mises à jour sur la production de SiC de 8 pouces.

Cet article présente les derniers développements du nouveau réacteur CVD à paroi chaude PE1O8 de la société italienne LPE et sa capacité à réaliser une épitaxie uniforme de 4H-SiC sur du SiC de 200 mm.

Avec la demande croissante de matériaux SiC dans l'électronique de puissance, l'optoélectronique et d'autres domaines, le développement de la technologie de croissance de monocristal SiC deviendra un domaine clé de l'innovation scientifique et technologique. En tant que cœur de l’équipement de croissance de monocristaux SiC, la conception du champ thermique continuera de faire l’objet d’une attention considérable et de recherches approfondies.