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L'évaporation par faisceau d'électrons est une méthode de revêtement très efficace et largement utilisée par rapport au chauffage par résistance, qui chauffe le matériau d'évaporation avec un faisceau d'électrons, le faisant se vaporiser et se condenser en un film mince.

Le revêtement sous vide comprend la vaporisation des matériaux cinématographiques, le transport sous vide et la croissance des couches minces. Selon les différentes méthodes de vaporisation du matériel de film et les processus de transport, le revêtement sous vide peut être divisé en deux catégories: PVD et CVD.

Cet article décrit les paramètres physiques et les caractéristiques des produits du graphite poreux de Vetek Semiconductor, ainsi que ses applications spécifiques dans le traitement des semi-conducteurs.