Cet article décrit les paramètres physiques et les caractéristiques des produits du graphite poreux de Vetek Semiconductor, ainsi que ses applications spécifiques dans le traitement des semi-conducteurs.
Cet article analyse les caractéristiques du produit et les scénarios d'application du revêtement en carbure de tantale et du revêtement en carbure de silicium sous plusieurs perspectives.
Le dépôt de couches mince est vital dans la fabrication de puces, créant des micro dispositifs en déposant des films de moins de 1 micron d'épaisseur via des MCV, ALD ou PVD. Ces processus construisent des composants semi-conducteurs à travers des films conducteurs et isolants alternés.
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