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Parmi les technologies disponibles, le four de croissance de cristaux SiC à chauffage par résistance de grande taille est apparu comme une solution essentielle pour produire des cristaux SiC de grand diamètre et à faibles défauts avec une cohérence et une efficacité améliorées. Cet article explore le fonctionnement de cette technologie, ses avantages, ses applications et pourquoi les leaders de l'industrie font confiance aux solutions innovantes de Veteksemi.

Un suscepteur en graphite revêtu de SiC pour l'ASM n'est pas seulement une pièce de rechange à l'intérieur d'un système d'épitaxie. Il s'agit d'un support essentiel au processus qui influence l'uniformité thermique, la propreté des plaquettes, la durabilité du revêtement, la stabilité de la chambre et le coût de production à long terme.

Un couvercle de revêtement CVD TaC n'est pas seulement un couvercle de protection ou un composant en graphite revêtu. Dans les processus de semi-conducteurs à haute température, cela peut influencer la propreté de la chambre, la stabilité thermique, la durée de vie des pièces et la cohérence du processus.